Elektron mikroskobunda yer alan ışın konulan yüzeyi tarar. Yüzeyden yansıyan elektronlar numuneye göre bir kaç yüz volt pozitif geriliminde tutulan anot ile toplanır. Anotta yer alan akım yükseltilir. Bu sayede katot ışın tüpü örneğin büyütülmüş görüntüsünü alır.